脉冲能量的变化如 图 5（b）所示。在脉冲能量低于 20 μJ 时，表面粗糙度变化较小；当脉冲 能量达到 20 μJ 后，表面粗糙度急剧 升高；在 40 μJ 条件下，表面粗糙度 算术平均高度 （Sa）和均方根高度 （Sq）分别达到 0.64 μm和 0.88 μm。 不同脉冲能量下微槽表面 SEM 形貌如图 6 所示。在脉冲能量为 0.1 μJ 时，由于单脉冲能量较低，虽已形 成一定宽度的微槽，但槽深较浅。槽 底和槽壁区域可观察到无序分布的 激光诱导周期性表面结构 （LIPSS）， 同时伴随少量再凝结物堆积。相比 之下，在脉冲能量达到 40 μJ 时，微 槽深度显著增加，但槽内表面质量下 降，出现大量颗粒状再凝结物，这是 导致微槽表面粗糙度明显升高的主 要原因之一。

脉冲能量的变化如 图 5（b）所示。在脉冲能量低于 20 μJ 时，表面粗糙度变化较小；当脉冲 能量达到 20 μJ 后，表面粗糙度急剧 升高；在 40 μJ 条件下，表面粗糙度 算术平均高度 （Sa）和均方根高度 （Sq）分别达到 0.64 μm和 0.88 μm。 不同脉冲能量下微槽表面 SEM 形貌如图 6 所示。在脉冲能量为 0.1 μJ 时，由于单脉冲能量较低，虽已形 成一定宽度的微槽，但槽深较浅。槽 底和槽壁区域可观察到无序分布的 激光诱导周期性表面结构 （LIPSS）， 同时伴随少量再凝结物堆积。相比 之下，在脉冲能量达到 40 μJ 时，微 槽深度显著增加，但槽内表面质量下 降，出现大量颗粒状再凝结物，这是 导致微槽表面粗糙度明显升高的主 要原因之一。